光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

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Material Type: 図書
Title: 光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発
Title Transcription: ヒカリホウシャアツマイクロカコウツールノシサクカイハツ
Author/Editor: 高谷, 裕浩, 大阪大学
Author Heading: 著者：高谷, 裕浩タカヤ, ヤスヒロ ( 01126347 )Authorities
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 光放射圧ヒカリホウシヤアツ
マイクロパーツマイクロパーツ
マイクロ加工マイクロカコウ
ダイヤモンド薄膜ダイヤモンドハクマク
加工ツールカコウツール
ナノ加工痕ナノカコウコン
TDFD法 TDFDホウ
光硬化性樹脂ヒカリコウカセイジユシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555039
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555039
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007059288
http://id.ndl.go.jp/bib/000007059288
Bibliographic Record Category (NDL): 214