Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
• タイトルよみ: Walking Drive ニ ヨル チョウセイミツ コウソク XYth テーブル ノ カイハツ
• 著者・編者: 社本, 英二, 神戸大学
• 著者標目: 社本, 英二 シャモト, エイジ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: Walking Drive WALKINGDRIVE; 圧電素子 アツデンソシ; 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; 送り装置 オクリソウチ; XYθテーブル XYシータテーブル; 高剛性 コウゴウセイ; 高分解能 コウブンカイノウ; デユアルモード駆動システム デユアルモードクドウシステム
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555041
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555041
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007059290; http://id.ndl.go.jp/bib/000007059290
• 整理区分コード: 214