Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
Title Transcription: Walking Drive ニヨルチョウセイミツコウソク XYth テーブルノカイハツ
Author/Editor: 社本, 英二, 神戸大学
Author Heading: 社本, 英二シャモト, エイジ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: Walking Drive WALKINGDRIVE
圧電素子アツデンソシ
超精密位置決めチヨウセイミツイチギメ
送り装置オクリソウチ
XYθテーブル XYシータテーブル
高剛性コウゴウセイ
高分解能コウブンカイノウ
デユアルモード駆動システムデユアルモードクドウシステム
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555041
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555041
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007059290
http://id.ndl.go.jp/bib/000007059290
Bibliographic Record Category (NDL): 214