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有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発

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有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555247
国立国会図書館書誌ID
000007059375
資料種別
図書
著者
杉村, 博之, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ シランケイ ジコ ソシキカ チョウハクマク レジスト ノ ソウセイ ト ナノ ビサイ カコウ プロセス ノ カイハツ
著者・編者
杉村, 博之, 名古屋大学
著者標目
杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
有機薄膜 ユウキハクマク
自己組織化単分子膜 ジコソシキカタンブンシマク
有機シラン ユウキシラン
光洗浄 ヒカリセンジヨウ
微細加工 ビサイカコウ
リソグラフイ リソグラフイ
レジスト レジスト
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ