有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発

• Material Type: 図書
• Title: 有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発
• Title Transcription: ユウキ シランケイ ジコ ソシキカ チョウハクマク レジスト ノ ソウセイ ト ナノ ビサイ カコウ プロセス ノ カイハツ
• Author/Editor: 杉村, 博之, 名古屋大学
• Author Heading: 杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 有機薄膜 ユウキハクマク; 自己組織化単分子膜 ジコソシキカタンブンシマク; 有機シラン ユウキシラン; 光洗浄 ヒカリセンジヨウ; 微細加工 ビサイカコウ; リソグラフイ リソグラフイ; レジスト レジスト; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555247
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555247
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007059375; http://id.ndl.go.jp/bib/000007059375
• Bibliographic Record Category (NDL): 214