パルス化した放電プラズマによるダイヤモンド膜の気相成長

• 資料種別: 図書
• タイトル: パルス化した放電プラズマによるダイヤモンド膜の気相成長
• タイトルよみ: パルスカ シタ ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイヤモンドマク ノ キソウ セイチョウ
• 著者・編者: 野田, 三喜男, 愛知教育大学
• 著者標目: 野田, 三喜男 ノダ, ミキオ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: ダイヤモンド膜 ダイヤモンドマク; プラズマCVD プラズマCVD; パルス放電 パルスホウデン; 間欠放電 カンケツホウデン; 電極間距離 デンキヨクカンキヨリ; 補助電極 ホジヨデンキヨク; アルミニユウム基板 アルミニユウムキバン; 膜質の制御 マクシツノセイギヨ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650008
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650008
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060247; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060247
• 整理区分コード: 214