パルス化した放電プラズマによるダイヤモンド膜の気相成長

• Material Type: 図書
• Title: パルス化した放電プラズマによるダイヤモンド膜の気相成長
• Title Transcription: パルスカ シタ ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイヤモンドマク ノ キソウ セイチョウ
• Author/Editor: 野田, 三喜男, 愛知教育大学
• Author Heading: 野田, 三喜男 ノダ, ミキオ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: ダイヤモンド膜 ダイヤモンドマク; プラズマCVD プラズマCVD; パルス放電 パルスホウデン; 間欠放電 カンケツホウデン; 電極間距離 デンキヨクカンキヨリ; 補助電極 ホジヨデンキヨク; アルミニユウム基板 アルミニユウムキバン; 膜質の制御 マクシツノセイギヨ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650008
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650008
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060247; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060247
• Bibliographic Record Category (NDL): 214