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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- STM ト プラズマエツチング オ モチイタ ナノ オシ イン リソグラフイー ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 吉田, 善一, 山梨大学
- 著者標目
- 著者 ： 吉田, 善一, 1957- ヨシダ, ヨシカズ, 1957- ( 00677819 )典拠
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)