Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- STM ト プラズマエツチング オ モチイタ ナノ オシ イン リソグラフイー ギジュツ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 吉田, 善一, 山梨大学
- Author Heading
- 著者 ： 吉田, 善一, 1957- ヨシダ, ヨシカズ, 1957- ( 00677819 )Authorities
- Publication Date
- 1998-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)