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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウシュウハ マグネトロンスパツタホウ オ モチイタ キョクビリュウ ダイヤモンドトリュウ ニ タイスル ヒョウメン カイシツ
- 著者・編者
- 仙波, 卓弥, 福岡工業大学
- 著者標目
- 仙波, 卓弥 センバ, タクヤ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 高周波マグネトロンスパツタ法 コウシユウハマグネトロンスパツタホウ極微粒ダイヤモンド砥粒 キヨクビリユウダイヤモンドトリユウ表面改質 ヒヨウメンカイシツレジンボンドホイール レジンボンドホイール電着工具 デンチヤクコウグ金型自由曲面 カナガタジユウキヨクメン鏡面研削 キヨウメンケンサク