高周波マグネトロンスパツタ法を用いた極微粒ダイヤモンド砥粒に対する表面改質

• Material Type: 図書
• Title: 高周波マグネトロンスパツタ法を用いた極微粒ダイヤモンド砥粒に対する表面改質
• Title Transcription: コウシュウハ マグネトロンスパツタホウ オ モチイタ キョクビリュウ ダイヤモンドトリュウ ニ タイスル ヒョウメン カイシツ
• Author/Editor: 仙波, 卓弥, 福岡工業大学
• Author Heading: 仙波, 卓弥 センバ, タクヤ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 高周波マグネトロンスパツタ法 コウシユウハマグネトロンスパツタホウ; 極微粒ダイヤモンド砥粒 キヨクビリユウダイヤモンドトリユウ; 表面改質 ヒヨウメンカイシツ; レジンボンドホイール レジンボンドホイール; 電着工具 デンチヤクコウグ; 金型自由曲面 カナガタジユウキヨクメン; 鏡面研削 キヨウメンケンサク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650128
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650128
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060335; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060335
• Bibliographic Record Category (NDL): 214