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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- サンジ モトダカ シュウセキ マイクロ ウンドウ ヘンカン キコウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 堀江, 三喜男, 東京工業大学
- 著者標目
- 堀江, 三喜男 ホリエ, ミキオ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年(W3CDTF)
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 三次元マイクロ運動変換機構 3ジゲンマイクロウンドウヘンカンキコウ高集積 コウシユウセキ大変形弾性ヒンジ ダイヘンケイダンセイヒンジポリイミド ポリイミド櫛歯形静電アクチユエータ クシハガタセイデンアクチユエータマイクロマシニニング マイクロマシニニングCVD CVDRIE RIE