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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title
- Title Transcription
- サンジ モトダカ シュウセキ マイクロ ウンドウ ヘンカン キコウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 堀江, 三喜男, 東京工業大学
- Author Heading
- 堀江, 三喜男 ホリエ, ミキオ
- Publication Date
- 1998-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 三次元マイクロ運動変換機構 3ジゲンマイクロウンドウヘンカンキコウ高集積 コウシユウセキ大変形弾性ヒンジ ダイヘンケイダンセイヒンジポリイミド ポリイミド櫛歯形静電アクチユエータ クシハガタセイデンアクチユエータマイクロマシニニング マイクロマシニニングCVD CVDRIE RIE