三次元高集積マイクロ運動変換機構の研究

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Material Type: 図書
Title: 三次元高集積マイクロ運動変換機構の研究
Title Transcription: サンジモトダカシュウセキマイクロウンドウヘンカンキコウノケンキュウ
Author/Editor: 堀江, 三喜男, 東京工業大学
Author Heading: 堀江, 三喜男ホリエ, ミキオ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 三次元マイクロ運動変換機構 3ジゲンマイクロウンドウヘンカンキコウ
高集積コウシユウセキ
大変形弾性ヒンジダイヘンケイダンセイヒンジ
ポリイミドポリイミド
櫛歯形静電アクチユエータクシハガタセイデンアクチユエータ
マイクロマシニニングマイクロマシニニング
CVD CVD
RIE RIE
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650138
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650138
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060342
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060342
Bibliographic Record Category (NDL): 214