マイクロマテリアルの機械的特性制御(面内及び厚さ方向傾斜薄膜材料の創製)

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロマテリアルの機械的特性制御(面内及び厚さ方向傾斜薄膜材料の創製)
• タイトルよみ: マイクロマテリアル ノ キカイテキ トクセイ セイギョ(メン ナイ オヨビ アツサ ホウコウ ケイシャ ハクマク ザイリョウ ノ ソウセイ)
• 著者・編者: 小寺, 秀俊, 京都大学
• 著者標目: 著者 ： 小寺, 秀俊 コテラ, ヒデトシ ( 01228602 )典拠
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: MEMS MEMS; 機械的特性 キカイテキトクセイ; 引張り試験 ヒツパリシケン; AES AES; Dynamic Response DYNAMICRESPONSE; FEM FEM; 解析 カイセキ; 拡散 カクサン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650258
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650258
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060417; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060417
• 整理区分コード: 214