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図書

マイクロマテリアルの機械的特性制御(面内及び厚さ方向傾斜薄膜材料の創製)

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マイクロマテリアルの機械的特性制御(面内及び厚さ方向傾斜薄膜材料の創製)

Call No. (NDL)
Y151-H10650258
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060417
Material type
図書
Author
小寺, 秀俊, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロマテリアル ノ キカイテキ トクセイ セイギョ(メン ナイ オヨビ アツサ ホウコウ ケイシャ ハクマク ザイリョウ ノ ソウセイ)
Author/Editor
小寺, 秀俊, 京都大学
Author Heading
著者 : 小寺, 秀俊 コテラ, ヒデトシ ( 01228602 )Authorities
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
MEMS MEMS
機械的特性 キカイテキトクセイ
引張り試験 ヒツパリシケン
AES AES
Dynamic Response DYNAMICRESPONSE
FEM FEM
解析 カイセキ
拡散 カクサン