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極微弱拡散光を用いた準鏡面の3次元形状計測法の研究

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極微弱拡散光を用いた準鏡面の3次元形状計測法の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650267
国立国会図書館書誌ID
000007060423
資料種別
図書
著者
加藤, 純一, 理化学研究所
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
極微弱拡散光を用いた準鏡面の3次元形状計測法の研究
タイトルよみ
キョクビ ジャクカクサンコウ オ モチイタ ジュンキョウメン ノ 3 ジゲン ケイジョウ ケイソクホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
加藤, 純一, 理化学研究所
著者標目
加藤, 純一 カトウ, ジュンイチ
出版年月日等
1998-1999
出版年（W3CDTF）
1998
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
干渉計測 カンシヨウケイソク
形状測定 ケイジヨウソクテイ
波長走査干渉法 ハチヨウソウサカンシヨウホウ
微弱光計測 ビジヤクコウケイソク