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図書

極微弱拡散光を用いた準鏡面の3次元形状計測法の研究

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極微弱拡散光を用いた準鏡面の3次元形状計測法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H10650267
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060423
Material type
図書
Author
加藤, 純一, 理化学研究所
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キョクビ ジャクカクサンコウ オ モチイタ ジュンキョウメン ノ 3 ジゲン ケイジョウ ケイソクホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
加藤, 純一, 理化学研究所
Author Heading
加藤, 純一 カトウ, ジュンイチ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
干渉計測 カンシヨウケイソク
形状測定 ケイジヨウソクテイ
波長走査干渉法 ハチヨウソウサカンシヨウホウ
微弱光計測 ビジヤクコウケイソク