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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゴクウス ユウデンタイマク オ オウヨウ シタ MOS コウゾウ タンイツ デンシ トランジスタ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 松尾, 直人, 山口大学
- 著者標目
- 著者 ： 松尾, 直人, 1953- マツオ, ナオト, 1953- ( 00823851 )典拠
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 誘電体極薄膜 ユウデンタイキヨクハクマクトンネリングMOSトランジスタ トンネリングMOSトランジスタ単一電子トランジスタ タンイツデンシトランジスタ縮退 シユクタイ非弾性散乱 ヒダンセイサンラン超高真空 チヨウコウシンクウ細線状極薄酸化膜 サイセンジヨウゴクウスサンカマクドツト状極薄酸化膜 ドツトジヨウゴクウスサンカマク