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極薄誘電体膜を応用したMOS構造単一電子トランジスタの研究

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極薄誘電体膜を応用したMOS構造単一電子トランジスタの研究

Call No. (NDL)
Y151-H10650310
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060449
Material type
図書
Author
松尾, 直人, 山口大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴクウス ユウデンタイマク オ オウヨウ シタ MOS コウゾウ タンイツ デンシ トランジスタ ノ ケンキュウ
Author/Editor
松尾, 直人, 山口大学
Author Heading
著者 : 松尾, 直人, 1953- マツオ, ナオト, 1953- ( 00823851 )Authorities
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
誘電体極薄膜 ユウデンタイキヨクハクマク
トンネリングMOSトランジスタ トンネリングMOSトランジスタ
単一電子トランジスタ タンイツデンシトランジスタ
縮退 シユクタイ
非弾性散乱 ヒダンセイサンラン
超高真空 チヨウコウシンクウ
細線状極薄酸化膜 サイセンジヨウゴクウスサンカマク
ドツト状極薄酸化膜 ドツトジヨウゴクウスサンカマク