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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ゴクウス ユウデンタイマク オ オウヨウ シタ MOS コウゾウ タンイツ デンシ トランジスタ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 松尾, 直人, 山口大学
- Author Heading
- 著者 : 松尾, 直人, 1953- マツオ, ナオト, 1953- ( 00823851 )Authorities
- Publication Date
- 1998-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 誘電体極薄膜 ユウデンタイキヨクハクマクトンネリングMOSトランジスタ トンネリングMOSトランジスタ単一電子トランジスタ タンイツデンシトランジスタ縮退 シユクタイ非弾性散乱 ヒダンセイサンラン超高真空 チヨウコウシンクウ細線状極薄酸化膜 サイセンジヨウゴクウスサンカマクドツト状極薄酸化膜 ドツトジヨウゴクウスサンカマク