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超高密度磁気記録用スパツタ薄膜媒体の微細構造制御法の開発

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超高密度磁気記録用スパツタ薄膜媒体の微細構造制御法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650320
国立国会図書館書誌ID
000007060457
資料種別
図書
著者
星, 陽一, 東京工芸大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウコウミツド ジキ キロクヨウ スパツタ ハクマク バイタイ ノ ビサイ コウゾウ セイギョホウ ノ カイハツ
著者・編者
星, 陽一, 東京工芸大学
著者標目
星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
スパツタ スパツタ
バリウムフエライト薄膜 バリウムフエライトハクマク
微細構造制御 ビサイコウゾウセイギヨ
低エネルギースパツタ テイエネルギースパツタ
スパツタビーム堆積法 スパツタビームタイセキホウ
液体窒素温度堆積 エキタイチツソオンドタイセキ