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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チョウコウミツド ジキ キロクヨウ スパツタ ハクマク バイタイ ノ ビサイ コウゾウ セイギョホウ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 星, 陽一, 東京工芸大学
- 著者標目
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- スパツタ スパツタバリウムフエライト薄膜 バリウムフエライトハクマク微細構造制御 ビサイコウゾウセイギヨ低エネルギースパツタ テイエネルギースパツタスパツタビーム堆積法 スパツタビームタイセキホウ液体窒素温度堆積 エキタイチツソオンドタイセキ