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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- チョウコウミツド ジキ キロクヨウ スパツタ ハクマク バイタイ ノ ビサイ コウゾウ セイギョホウ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 星, 陽一, 東京工芸大学
- Author Heading
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- Publication Date
- 1998-1999
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- スパツタ スパツタバリウムフエライト薄膜 バリウムフエライトハクマク微細構造制御 ビサイコウゾウセイギヨ低エネルギースパツタ テイエネルギースパツタスパツタビーム堆積法 スパツタビームタイセキホウ液体窒素温度堆積 エキタイチツソオンドタイセキ