超高精度深さ方向分解能のAES法によるSi/Ge原子層超格子の構造評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超高精度深さ方向分解能のAES法によるSi/Ge原子層超格子の構造評価
• タイトルよみ: チョウコウセイド フカサ ホウコウ ブンカイノウ ノ AES ホウ ニ ヨル Si/Ge ゲンシソウ チョウコウシ ノ コウゾウ ヒョウカ
• 著者・編者: 内田, 恭敬, 帝京科学大学
• 著者標目: 内田, 恭敬 ウチダ, ヤスタカ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: AES AES; 超格子 チヨウコウシ; サーフアクタント サーフアクタント; 組成分布 ソセイブンプ; 平坦性 ヘイタンセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650321
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650321
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060458; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060458
• 整理区分コード: 214