超高精度深さ方向分解能のAES法によるSi/Ge原子層超格子の構造評価

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Material Type: 図書
Title: 超高精度深さ方向分解能のAES法によるSi/Ge原子層超格子の構造評価
Title Transcription: チョウコウセイドフカサホウコウブンカイノウノ AES ホウニヨル Si/Ge ゲンシソウチョウコウシノコウゾウヒョウカ
Author/Editor: 内田, 恭敬, 帝京科学大学
Author Heading: 内田, 恭敬ウチダ, ヤスタカ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: AES AES
超格子チヨウコウシ
サーフアクタントサーフアクタント
組成分布ソセイブンプ
平坦性ヘイタンセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650321
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650321
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060458
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060458
Bibliographic Record Category (NDL): 214