半導体界面における微量欠陥の機構解析

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体界面における微量欠陥の機構解析
• タイトルよみ: ハンドウタイ カイメン ニ オケル ビリョウ ケッカン ノ キコウ カイセキ
• 著者・編者: 河津, 哲, 高知工科大学
• 著者標目: 河津, 哲 カワヅ, サトル
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: LSI LSI; MOS構造 MOSコウゾウ; 担体発生 タンタイハツセイ; 微小電流評価 ビシヨウデンリユウヒヨウカ; 結晶欠陥 ケツシヨウケツカン; 重金属汚染 ジユウキンゾクオセン; 絶縁破壊 ゼツエンハカイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650325
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650325
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060462; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060462
• 整理区分コード: 214