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図書

半導体界面における微量欠陥の機構解析

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半導体界面における微量欠陥の機構解析

Call No. (NDL)
Y151-H10650325
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060462
Material type
図書
Author
河津, 哲, 高知工科大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ カイメン ニ オケル ビリョウ ケッカン ノ キコウ カイセキ
Author/Editor
河津, 哲, 高知工科大学
Author Heading
河津, 哲 カワヅ, サトル
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
LSI LSI
MOS構造 MOSコウゾウ
担体発生 タンタイハツセイ
微小電流評価 ビシヨウデンリユウヒヨウカ
結晶欠陥 ケツシヨウケツカン
重金属汚染 ジユウキンゾクオセン
絶縁破壊 ゼツエンハカイ