半導体界面における微量欠陥の機構解析

• Material Type: 図書
• Title: 半導体界面における微量欠陥の機構解析
• Title Transcription: ハンドウタイ カイメン ニ オケル ビリョウ ケッカン ノ キコウ カイセキ
• Author/Editor: 河津, 哲, 高知工科大学
• Author Heading: 河津, 哲 カワヅ, サトル
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: LSI LSI; MOS構造 MOSコウゾウ; 担体発生 タンタイハツセイ; 微小電流評価 ビシヨウデンリユウヒヨウカ; 結晶欠陥 ケツシヨウケツカン; 重金属汚染 ジユウキンゾクオセン; 絶縁破壊 ゼツエンハカイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650325
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650325
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060462; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060462
• Bibliographic Record Category (NDL): 214