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電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

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電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650348
国立国会図書館書誌ID
000007060475
資料種別
図書
著者
岡村, 総一郎, 奈良先端科学技術大学院大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウ シタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
岡村, 総一郎, 奈良先端科学技術大学院大学
著者標目
岡村, 総一郎 オカムラ, ソウイチロウ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
微細加工 ビサイカコウ
酸化物 サンカブツ
強誘電体 キヨウユウデンタイ
不揮発性メモリー フキハツセイメモリー
電子線誘起反応 デンシセンユウキハンノウ
FT-IR FT-IR