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電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

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電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H10650348
Bibliographic ID of National Diet Library
000007060475
Material type
図書
Author
岡村, 総一郎, 奈良先端科学技術大学院大学
Publisher
-
Publication date
1998-1999
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウ シタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
岡村, 総一郎, 奈良先端科学技術大学院大学
Author Heading
岡村, 総一郎 オカムラ, ソウイチロウ
Publication Date
1998-1999
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
微細加工 ビサイカコウ
酸化物 サンカブツ
強誘電体 キヨウユウデンタイ
不揮発性メモリー フキハツセイメモリー
電子線誘起反応 デンシセンユウキハンノウ
FT-IR FT-IR