光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発
• タイトルよみ: ヒカリ ノ コウホウ キョウチョウ サンラン オ モチイタ CVD ハクマク プロセス ノ ジツ ジカン モニタリング ソウチ カイハツ
• 著者・編者: 中山, 純一, 京都工芸繊維大学
• 著者標目: 中山, 純一 ナカヤマ, ジュンイチ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 光散乱 ヒカリサンラン; 不規則表面 フキソクヒヨウメン; 後方強調散乱 コウホウキヨウチヨウサンラン; 確率汎函数 カクリツハンカンスウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650408
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650408
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060518; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060518
• 整理区分コード: 214