光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

• Material Type: 図書
• Title: 光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発
• Title Transcription: ヒカリ ノ コウホウ キョウチョウ サンラン オ モチイタ CVD ハクマク プロセス ノ ジツ ジカン モニタリング ソウチ カイハツ
• Author/Editor: 中山, 純一, 京都工芸繊維大学
• Author Heading: 中山, 純一 ナカヤマ, ジュンイチ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 光散乱 ヒカリサンラン; 不規則表面 フキソクヒヨウメン; 後方強調散乱 コウホウキヨウチヨウサンラン; 確率汎函数 カクリツハンカンスウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650408
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650408
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007060518; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060518
• Bibliographic Record Category (NDL): 214