水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価
• タイトルよみ: スイソ オ フクマナイ コウシツ タンソマク ノ セイセイ ト ブッセイ ヒョウカ
• 著者・編者: 丸山, 一典, 長岡技術科学大学
• 著者標目: 丸山, 一典 マルヤマ, カズノリ
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD; 硬質炭素膜 コウシツタンソマク; 熱腐蝕 ネツフシヨク; RFバイアス RFバイアス; マススペクトル マススペクトル; ガス放出スペクトル ガスホウシユツスペクトル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650689
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650689
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007060679; http://id.ndl.go.jp/bib/000007060679
• 整理区分コード: 214