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水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

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水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650689
国立国会図書館書誌ID
000007060679
資料種別
図書
著者
丸山, 一典, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1998-1999
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スイソ オ フクマナイ コウシツ タンソマク ノ セイセイ ト ブッセイ ヒョウカ
著者・編者
丸山, 一典, 長岡技術科学大学
著者標目
丸山, 一典 マルヤマ, カズノリ
出版年月日等
1998-1999
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD
硬質炭素膜 コウシツタンソマク
熱腐蝕 ネツフシヨク
RFバイアス RFバイアス
マススペクトル マススペクトル
ガス放出スペクトル ガスホウシユツスペクトル