水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

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Material Type: 図書
Title: 水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価
Title Transcription: スイソオフクマナイコウシツタンソマクノセイセイトブッセイヒョウカ
Author/Editor: 丸山, 一典, 長岡技術科学大学
Author Heading: 丸山, 一典マルヤマ, カズノリ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD
硬質炭素膜コウシツタンソマク
熱腐蝕ネツフシヨク
RFバイアス RFバイアス
マススペクトルマススペクトル
ガス放出スペクトルガスホウシユツスペクトル
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650689
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650689
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007060679
http://id.ndl.go.jp/bib/000007060679
Bibliographic Record Category (NDL): 214