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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- ソウサ プローブプラズマエツチング
- 著者・編者
- 細田, 直江, 東京大学
- 著者標目
- 細田, 直江 ホソダ, ナオエ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年(W3CDTF)
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- ウエハプローブカード ウエハプローブカードプローブ プローブプラズマエツチング プラズマエツチングMEMS MEMS高真空走査型プローブ顕微鏡 コウシンクウソウサガタプローブケンビキヨウドライエツチング ドライエツチングマイクロプラズマ マイクロプラズママイクロ走査型力顕微鏡プローブ マイクロソウサガタリヨクケンビキヨウプローブ