走査プローブプラズマエツチング

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 走査プローブプラズマエツチング
Title Transcription: ソウサプローブプラズマエツチング
Author/Editor: 細田, 直江, 東京大学
Author Heading: 細田, 直江ホソダ, ナオエ
Publication Date: 1998-1999
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ウエハプローブカードウエハプローブカード
プローブプローブ
プラズマエツチングプラズマエツチング
MEMS MEMS
高真空走査型プローブ顕微鏡コウシンクウソウサガタプローブケンビキヨウ
ドライエツチングドライエツチング
マイクロプラズママイクロプラズマ
マイクロ走査型力顕微鏡プローブマイクロソウサガタリヨクケンビキヨウプローブ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650053
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10650053
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007062314
http://id.ndl.go.jp/bib/000007062314
Bibliographic Record Category (NDL): 214