書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- パルスレイキ ECR プラズマ ノ エネルギー カンワ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 秋津, 哲也, 山梨大学
- 著者標目
- 秋津, 哲也 アキツ, テツヤ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング電子サイクロトロン共鳴プラズマ デンシサイクロトロンキヨウメイプラズマ原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ圧電性結晶 アツデンセイケツシヨウ圧電性微結晶薄膜 アツデンセイビケツシヨウハクマク出現ポテンシヤル質量分析 シユツゲンポテンシヤルシツリヨウブンセキ