パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究
• Title Transcription: パルスレイキ ECR プラズマ ノ エネルギー カンワ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 秋津, 哲也, 山梨大学
• Author Heading: 秋津, 哲也 アキツ, テツヤ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング; 電子サイクロトロン共鳴プラズマ デンシサイクロトロンキヨウメイプラズマ; 原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ; 圧電性結晶 アツデンセイケツシヨウ; 圧電性微結晶薄膜 アツデンセイビケツシヨウハクマク; 出現ポテンシヤル質量分析 シユツゲンポテンシヤルシツリヨウブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10680454
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10680454
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007062705; http://id.ndl.go.jp/bib/000007062705
• Bibliographic Record Category (NDL): 214