粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発
• タイトルよみ: リュウシジョウ ジキ キロク バイタイ ハクマク サクセイ ノ タメ ノ カンゼン ネツカ コウガスアツ スパツタ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 石井, 清, 宇都宮大学
• 著者標目: 石井, 清 イシイ, キヨシ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ; コバルト薄膜 コバルトハクマク; スパツタ法 スパツタホウ; スパツタ膜 スパツタマク; ガスフロースパツタ法 ガスフロースパツタホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650379
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650379
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007063666; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063666
• 整理区分コード: 214