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粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

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粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650379
国立国会図書館書誌ID
000007063666
資料種別
図書
著者
石井, 清, 宇都宮大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
リュウシジョウ ジキ キロク バイタイ ハクマク サクセイ ノ タメ ノ カンゼン ネツカ コウガスアツ スパツタ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
石井, 清, 宇都宮大学
著者標目
石井, 清 イシイ, キヨシ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ
コバルト薄膜 コバルトハクマク
スパツタ法 スパツタホウ
スパツタ膜 スパツタマク
ガスフロースパツタ法 ガスフロースパツタホウ