粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: 粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発
• Title Transcription: リュウシジョウ ジキ キロク バイタイ ハクマク サクセイ ノ タメ ノ カンゼン ネツカ コウガスアツ スパツタ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 石井, 清, 宇都宮大学
• Author Heading: 石井, 清 イシイ, キヨシ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ; コバルト薄膜 コバルトハクマク; スパツタ法 スパツタホウ; スパツタ膜 スパツタマク; ガスフロースパツタ法 ガスフロースパツタホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650379
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650379
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007063666; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063666
• Bibliographic Record Category (NDL): 214