ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
• タイトルよみ: ペニング ホウデンガタ エチング ・ スパツタリングホウ ニ ヨル レンゾクマク サクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 中山, 登史男, 山口東京理科大学
• 著者標目: 中山, 登史男 ナカヤマ, トシオ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: マイクロスパツタリング マイクロスパツタリング; エツチング エツチング; 薄膜形成 ハクマクケイセイ; ミリ加工 ミリカコウ; ミクロン加工 ミクロンカコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650798
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650798
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007063695; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063695
• 整理区分コード: 214