ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究

• Material Type: 図書
• Title: ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
• Title Transcription: ペニング ホウデンガタ エチング ・ スパツタリングホウ ニ ヨル レンゾクマク サクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 中山, 登史男, 山口東京理科大学
• Author Heading: 中山, 登史男 ナカヤマ, トシオ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: マイクロスパツタリング マイクロスパツタリング; エツチング エツチング; 薄膜形成 ハクマクケイセイ; ミリ加工 ミリカコウ; ミクロン加工 ミクロンカコウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650798
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650798
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007063695; http://id.ndl.go.jp/bib/000007063695
• Bibliographic Record Category (NDL): 214