AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
• タイトルよみ: AFM タンシン オ モチイタ 0.1mm センプク ノ レジストパターン セッチャクリョク ノ チョクセツ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 河合, 晃, 長岡技術科学大学
• 著者標目: 著者 ： 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )典拠
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; 光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー; フオトレジストパターン フオトレジストパターン; 接着力 セツチヤクリヨク; 有限要素法 ユウゲンヨウソホウ; 摩擦力 マサツリヨク; 凝集破壊 ギヨウシユウハカイ; フアンデルワールスカ フアンデルワールスカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10650332
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10650332
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007065303; http://id.ndl.go.jp/bib/000007065303
• 整理区分コード: 214