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AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

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AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H10650332
Bibliographic ID of National Diet Library
000007065303
Material type
図書
Author
河合, 晃, 長岡技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
AFM タンシン オ モチイタ 0.1mm センプク ノ レジストパターン セッチャクリョク ノ チョクセツ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
河合, 晃, 長岡技術科学大学
Author Heading
著者 : 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー
フオトレジストパターン フオトレジストパターン
接着力 セツチヤクリヨク
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ
摩擦力 マサツリヨク
凝集破壊 ギヨウシユウハカイ
フアンデルワールスカ フアンデルワールスカ