Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- AFM タンシン オ モチイタ 0.1mm センプク ノ レジストパターン セッチャクリョク ノ チョクセツ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 河合, 晃, 長岡技術科学大学
- Author Heading
- 著者 : 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ光リソグラフイー ヒカリリソグラフイーフオトレジストパターン フオトレジストパターン接着力 セツチヤクリヨク有限要素法 ユウゲンヨウソホウ摩擦力 マサツリヨク凝集破壊 ギヨウシユウハカイフアンデルワールスカ フアンデルワールスカ