AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
• Title Transcription: AFM タンシン オ モチイタ 0.1mm センプク ノ レジストパターン セッチャクリョク ノ チョクセツ カイセキホウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 河合, 晃, 長岡技術科学大学
• Author Heading: 著者 ： 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; 光リソグラフイー ヒカリリソグラフイー; フオトレジストパターン フオトレジストパターン; 接着力 セツチヤクリヨク; 有限要素法 ユウゲンヨウソホウ; 摩擦力 マサツリヨク; 凝集破壊 ギヨウシユウハカイ; フアンデルワールスカ フアンデルワールスカ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10650332
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10650332
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007065303; http://id.ndl.go.jp/bib/000007065303
• Bibliographic Record Category (NDL): 214