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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ナノメータ LSI ヨウ SOI キバン チュウ ノ フジュンブツ カクサン モデリング ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 荒井, 英輔, 名古屋工業大学
- 著者標目
- 著者 ： 荒井, 英輔, 1942- アライ, エイスケ, 1942- ( 00693719 )典拠
- 出版年月日等
- 1998-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)