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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ナノメータ LSI ヨウ SOI キバン チュウ ノ フジュンブツ カクサン モデリング ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 荒井, 英輔, 名古屋工業大学
- Author Heading
- 著者 ： 荒井, 英輔, 1942- アライ, エイスケ, 1942- ( 00693719 )Authorities
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)