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半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発

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半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H10650415
国立国会図書館書誌ID
000007065320
資料種別
図書
著者
原, 和裕, 東京電機大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発
タイトルよみ
ハンドウタイ ハクマク オ モチイタ カンキョウ ケイソク センサ ノ カイハツ
著者・編者
原, 和裕, 東京電機大学
著者標目
原, 和裕 ハラ, カズヒロ
出版年月日等
1998-2000
出版年（W3CDTF）
1998
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
環境計測センサ カンキヨウケイソクセンサ
集積化センサ シユウセキカセンサ
薄膜ガスセンサ ハクマクガスセンサ
酸化第二鉄 サンカダイ2テツ
酸化第二錫 サンカダイニスズ
酸化タングステン サンカタングステン