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図書

半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発

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半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発

Call No. (NDL)
Y151-H10650415
Bibliographic ID of National Diet Library
000007065320
Material type
図書
Author
原, 和裕, 東京電機大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ ハクマク オ モチイタ カンキョウ ケイソク センサ ノ カイハツ
Author/Editor
原, 和裕, 東京電機大学
Author Heading
原, 和裕 ハラ, カズヒロ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
環境計測センサ カンキヨウケイソクセンサ
集積化センサ シユウセキカセンサ
薄膜ガスセンサ ハクマクガスセンサ
酸化第二鉄 サンカダイ2テツ
酸化第二錫 サンカダイニスズ
酸化タングステン サンカタングステン