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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- フロロカーボンプラズマ ニ オケル アタラシイ カベ セイギョホウ ノ カイハツ ト プラズマ ・ カベ ソウゴ サヨウ
- 著者・編者
- 中村, 圭二, 中部大学
- 著者標目
- 中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ
- 出版年月日等
- 1998-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
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