フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用

• Material Type: 図書
• Title: フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用
• Title Transcription: フロロカーボンプラズマ ニ オケル アタラシイ カベ セイギョホウ ノ カイハツ ト プラズマ ・ カベ ソウゴ サヨウ
• Author/Editor: 中村, 圭二, 中部大学
• Author Heading: 中村, 圭二 ナカムラ, ケイジ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: プラズマプロセス プラズマプロセス; エツチング エツチング; シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; プラズマ・壁相互作用 プラズマ・ヘキソウゴサヨウ; RFバイアス RFバイアス; イオン衝撃 イオンシヨウゲキ; 壁制御 ヘキセイギヨ; ラジカル脱離 ラジカルダツリ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10680457
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10680457
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007066253; http://id.ndl.go.jp/bib/000007066253
• Bibliographic Record Category (NDL): 214