図書

マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

図書を表すアイコン

マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650100
国立国会図書館書誌ID
000007067176
資料種別
図書
著者
辻, 裕一, 東京電機大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価
タイトルよみ
マイクロマシンヨウ Si ビショウ コウゾウ ノ ヒロウ トクセイ ヒョウカ
著者・編者
辻, 裕一, 東京電機大学
著者標目
辻, 裕一 ツジ, ヒロカズ
出版年月日等
1999-2000
出版年（W3CDTF）
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
マイクロマシン マイクロマシン
マイクロメカニズム マイクロメカニズム
微小材料 ビシヨウザイリヨウ
疲労 ヒロウ
疲労試験 ヒロウシケン
シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
異方性エツチング イホウセイエツチング