マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

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Material Type: 図書
Title: マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価
Title Transcription: マイクロマシンヨウ Si ビショウコウゾウノヒロウトクセイヒョウカ
Author/Editor: 辻, 裕一, 東京電機大学
Author Heading: 辻, 裕一ツジ, ヒロカズ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: マイクロマシンマイクロマシン
マイクロメカニズムマイクロメカニズム
微小材料ビシヨウザイリヨウ
疲労ヒロウ
疲労試験ヒロウシケン
シリコン単結晶シリコンタンケツシヨウ
異方性エツチングイホウセイエツチング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650100
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650100
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067176
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067176
Bibliographic Record Category (NDL): 214