電子ビーム励起プラズマによる新機能膜の創生

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子ビーム励起プラズマによる新機能膜の創生
• タイトルよみ: デンシ ビームレイキプラズマ ニ ヨル シン キノウマク ノ ソウセイ
• 著者・編者: Abraha Petros, 名城大学
• 著者標目: アブラハ, ペトロス (Abraha, Petros) アブラハ, ペトロス (Abraha, Petros)
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999; 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: deposition DEPOSITION; laser ablation LASERABLATION; thin film THINFILM; plasma PLASMA; vacuum chamber VACUUMCHAMBER
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650140
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650140
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067207; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067207
• 整理区分コード: 214